概述：

本機是主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環節，具有容量大、效率高的特點。

主要特點：

彩色液晶觸摸屏實時監控，可存儲多種工藝菜單。

腔體和轉架采用316不銹鋼，電化學拋光處理。

去離子水電阻率監控功能。

無刷電機驅動

氮氣溫度控制

轉軸氮氣密封

具有鎖蓋防護功能

故障診斷、顯示、報警功能

可提用戶特殊要求配置